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太阳能多晶硅工艺烟气在线监测

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产品概述:CEMS烟气气体分析系统针对多晶硅工艺的具体情况,进行了优化设计和合理配置。在太阳能多晶硅工艺中废气产生:酸雾引入净化塔采用碱液喷淋处理,尾气由15m高排气筒排入大气。废气排放量15000m3/h, NO2产生浓度为50-70mg/m3,经碱液喷淋吸收,排放速率0.018kg/h,NO2排放浓度为…
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  CEMS烟气气体分析系统针对多晶硅工艺的具体情况,进行了优化设计和合理配置。

  在太阳能多晶硅工艺中废气产生:
  酸雾引入净化塔采用碱液喷淋处理,尾气由15m高排气筒排入大气。废气排放量15000m3/h, NO2产生浓度为50-70mg/m3,经碱液喷淋吸收,排放速率0.018kg/h,NO2排放浓度为15-20mg/m3。

  产生的SiC粉尘,采用旋风+高效滤筒除尘器处理,废气由15高排气筒排放,粉尘排放浓度低于30mg/m3,排放速率0.027kg/h,

  针对工艺中粉尘,设计了三级过滤系统,并配置加热反吹式过滤探头,确保气体分析仪能够稳定工作,
测量^;

  工艺中会产生水气,这对分析仪的检测带来很大影响,采用大容量减压过滤器和冷阱捕水技术相结合,除去样气中的水,保证分析仪的检测过程顺利进行;

  全部采样管道采用耐腐蚀的聚四氟乙烯管,使工艺中产生的大量的SO2和NOx,等腐蚀性气体既能得到^的检测,同时保护整个分析系统不受损害,延长分析系统的使用寿命;

  仪器采用进口传感器,利用红外检测技术。检测精度高,稳定性能好。

  采样探头采用目前国际先进的内、外脉冲式振动反吹技术,独特的快速拆卸设计使得维修方便,维护工作量很小。
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