提供气体减排是工厂设施的重要组成部分，通常，气体处理工具位于次晶圆厂，并放置在真空泵之后，使用的大气过程非常少，以真空为主的过程占绝大多数。^佳实践安装导致气体减排工具工具尽可能靠近泵放置。反过来，泵也放置在尽可能靠近处理工具的位置。
  
  这个概念被称为使用点（PoU），是高科技行业的典型代表。与真空泵的物理接近导致了几个优点，两个工具之间的气体管线较短，泄漏较少且节约成本，因为一些工艺需要加热该管线以避免废气管线内的冷凝。
  
  尽管有几种不同的技术可用，废气处理工具的基本概念是相同的。大多数工具在处理废气流以及VOCs治理时使用两个阶段，这主要取决于工艺气体，一个阶段可能绰绰有余，无论是干式燃烧器还是湿式洗涤器。在两级系统中，废气被热分解为它们的组成元素，在洗涤器中洗涤以除去任何酸性组分之前被氧化以形成稳定的副产物。